激光干涉儀以光波為載體,，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準,，是高精度,、高靈敏度的測量儀器，在制造領(lǐng)域應用廣泛,。

中圖SJ6000激光干涉儀品牌具有測量精度高,、測量范圍大、測量速度快,、高測速下分辨率高等優(yōu)點,，結(jié)合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,，可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移,、速度,、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析,、絲桿導軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。

性能特點

1.測量精度高,、速度快,，穩(wěn)定性好

①使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位,，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達到4m/s,。

④配合有環(huán)境補償單元,，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式干涉鏡設計,，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

①可以實現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平面度等幾何量的檢測

②結(jié)合軟件系統(tǒng)，可以用于速度,，加速度,，振動分析以及穩(wěn)定度等分析

③可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進行動態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當前熱門的軟件界面開發(fā)工具,，軟件界面人性化,，操作簡單。

②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中,，更方便用戶切換測量類型,。

③向?qū)讲僮鳎鞒糖逦?，更符合國?nèi)用戶的使用習慣,。

4 性價比高

性能達到了國外儀器的水準，價格是國內(nèi)儀器的良心價,。

導軌直線度檢測

對機床精度再校準

SJ6000激光干涉儀品牌系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組,、角度鏡組、直線度鏡組,、垂直度鏡組,、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺。

▲主要鏡組圖

其中,，線性鏡組為標配,，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,?？蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度,、反向間隙的測量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補償。

技術(shù)規(guī)格

注意事項：

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍,，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

內(nèi)置13份標準，包含GB,、ISO,、英標、美標,、德標,、日標等國內(nèi)外通用標準?？梢罁?jù)各種不同的機床標準分析處理數(shù)據(jù),，并可打印相應的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。